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液體粒子計數器
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日本理音RION KS-41A液體粒子計數器

日本理音RION KS-41A液體粒子計數器

RION/日本理音液體粒子計數器,可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數器的使用是為了控制化學品中的粒子,如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學劑比如堿,有機溶劑和氫氟酸。另外,也可檢測化學機械拋···...
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詳情介紹

RION/日本理音液體粒子計數器,可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數器的使用是為了控制化學品中的粒子,如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學劑比如堿,有機溶劑和氫氟酸。另外,也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液,測試方法包括在線和離線測試。
 

特點優勢

粒徑范圍(4通道): ≧0.15µm,≧0.2µm,≧0.3µm,≧0.5µm


可選通道: 1-10個通道,由控制器設定,設定范圍:0.15~0.5µm

 

技術參數

光源: 鐳射二極管(波長830nm,額定輸出200mW)


鐳射材料: 人造石英PFA


流量: 100ml/分鐘


粒徑范圍(4通道): ≧0.15µm,≧0.2µm,≧0.3µm,≧0.5µm


可選通道: 1-10個通道,由控制器設定,設定范圍:0.15~0.5µm


粒子數量: 1200顆/ml


電源: DC12V(由KE-40B1供應)


尺寸.重量: 160×300×250mm,大約:7.5kg

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