RION/日本理音液體粒子計數器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數器的使用是為了控制化學品中的粒子，如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學劑比如堿，有機溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。

特點優勢

光源 激光二極管泵/固態晶振鐳射(波長:532nm,額定輸出:500mW)

鐳射材料 藍寶石,PFA

流量 10mL/min

粒徑范圍 (4通道,標配) ≥0.04μm;≥0.08μm;≥0.1μm;≥0.15μm

可選通道 1-10個通道,由控制器設定,設定范圍:0.04~0.15μm

粒子數量 30000顆/ml

電源 DC12V(由KE-40B1供應)

尺寸.重量 147（H）X  272(W) X 442(D)mm, 約重:12kg